Аннотация на русском языке: Эпоксидная пресс-форма, покрывающая датчик давления MEMS, подвергается адсорбции влаги. Исследование, зависящее от времени, рассчитывает диффузию влаги в пресс-форме, а параметрический стационарный анализ вычисляет дрейф измеренного давления, вызванный гигроскопическим разбуханием.

The summary in English: The epoxy mold covering the MEMS pressure sensor is exposed to moisture adsorption. The time-dependent study calculates the diffusion of moisture in the mold, and the parametric stationary analysis calculates the measured pressure drift caused by hygroscopic swelling.

Ключевые слова: статический анализ, диффузия влаги, адсорбция влаги, гигроскопическое набухание, микроэлектронные схемы.
Key words: static analysis, moisture diffusion, moisture adsorption, hygroscopic swelling, microelectronic circuits.